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一种晶体直拉生长设备用免维护真空系统
公开号: CN222226640U | 申请号: CN202421090986.1

申请类型: 实用新型

申请号: CN202421090986.1

申请日期: 2024-05-20

公开号: CN222226640U

名称: 一种晶体直拉生长设备用免维护真空系统

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: C30B15/00(2006.01);B01D46/24(2006.01);B01D46/76(20

申请人(专利权人): 江苏福旭科技有限公司

发明人/设计人: 严循成;王祥;何迎辉

地址: 223630 江苏省宿迁市沭阳县经济开发区瑞声大道8号院内2号厂房

摘要: 本实用新型公开了一种晶体直拉生长设备用免维护真空系统，其包括：单晶炉、真空泵和过滤装置，所述过滤装置包括筒体、浮动环和滤网，所述筒体底部设置有第一管接头，所述单晶炉与第一管接头之间设置有第一管道，所述筒体顶部设置有盖板，所述盖板上设置有第二管接头，所述真空泵与第二管接头之间设置有第二管道，所述筒体中上下间隔设置有第一限位块和第二限位块，所述浮动环同心设置在筒体中并位于第一限位块和第二限位块之间，所述浮动环顶部同心设置有圆柱形笼体，所述滤网套设在圆柱形笼体的外侧。本实用新型所述的晶体直拉生长设备用免维护真空系统，实现了对单晶炉的抽真空以及滤网的自动维护。

代理人: 王后羿

代理机构: 北京华智则铭知识产权代理有限公司 11573