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一种制备钙钛矿薄膜的抽真空设备
公开号: CN222228771U | 申请号: CN202420612300.4

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420612300.4

申请日期: 2024-03-27

公开号: CN222228771U

名称: 一种制备钙钛矿薄膜的抽真空设备

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: F04B37/14(2006.01);H10K71/00(2023.01);H10K85/50(20

申请人(专利权人): 昆山协鑫光电材料有限公司

发明人/设计人: 请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名

地址: 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路366号6号房

摘要: 本实用新型公开了一种制备钙钛矿薄膜的抽真空设备，抽真空设备包括壳体、基台和抽真空组件，壳体内具有密闭的容纳空间；基台安装在容纳空间内，用于承载玻璃基板；抽真空组件包括真空泵和抽真空管，真空泵和抽真空管均设置有多个，每个抽真空管的一端与一个真空泵连通，另一端均与容纳空间连通，其中，多个抽真空管的长度相等。根据本实用新型实施例的制备钙钛矿薄膜的抽真空设备，通过使得多个抽真空管的长度相等，可以使得多个真空泵启动后对容纳空间的抽吸动作的时间较为一致，从而使得容纳空间内的气流较为稳定，不易对未结晶的钙钛矿造成影响，有利于提高钙钛矿成膜的均匀性。

代理人: 徐章伟

代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201