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静电卡盘机构
公开号: CN222233609U | 申请号: CN202421022972.6

申请类型: 实用新型

申请号: CN202421022972.6

申请日期: 2024-05-11

公开号: CN222233609U

名称: 静电卡盘机构

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: H01L21/683(2006.01);H01L21/687(2006.01);H01L21/67(

申请人(专利权人): 苏州苏纳光电有限公司

发明人/设计人: 颜志超;张建;卢建娅;朱斌青

地址: 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区1幢101、102室

摘要: 本实用新型公开了一种静电卡盘机构，包括承载基座、静电卡盘、环形保护件、第一驱动组件以及顶针组件。承载基座具有一承载面，所述承载基座内设置有第一冷却液流道；静电卡盘设置在所述承载面上；环形保护件位于所述承载面上且套设于所述静电卡盘的外周面；第一驱动组件连接且作用于所述承载基座，所述第一驱动组件能驱动所述承载基座绕自身中心轴转动；以及，顶针组件包括穿设于所述承载基座内且能相对所述静电卡盘伸缩的顶针以及驱动所述顶针伸缩的第二驱动组件。本实用新型的静电卡盘机构，其能够提高工艺重复性、稳定性、均匀性及静电卡盘寿命。

代理人: 陆颖

代理机构: 苏州三英知识产权代理有限公司 32412