专利查询系统

载架及加工装置
公开号: CN222222534U | 申请号: CN202420910870.1

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420910870.1

申请日期: 2024-04-28

公开号: CN222222534U

名称: 载架及加工装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: B25H1/08(2006.01);B25H1/10(2006.01)

申请人(专利权人): 杭州天睿精密科技有限公司

发明人/设计人: 请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名

地址: 311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路958号1幢801-14室

摘要: 本实用新型提供一种载架及加工装置，涉及半导体加工技术领域。该载架包括载梁和两个支架，支架设有Z向驱动件，Z向驱动件连接有连接座，连接座通过转动轴转动连接有转动座，转动轴沿Y向延伸；载梁沿X向延伸并连接于两个转动座之间，且载梁X向的至少一端作为滑移端与相应转动座的顶部沿X向滑接。该加工装置包括工作台和上述载架，载架安装于工作台，载架的载梁连接有加工组件。该载架能够保证对工作面上零部件的加工精确度及一致性，且滑移端与相应转动座形成的滑移转动机构的结构稳定性较高，且能够稳定承载载梁及其上的加工组件，从而确保滑移转动机构的稳定运行以及载梁的方位稳定性，相应确保加工装置的稳定运行。

代理人: 贾晓敏

代理机构: 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726