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一种晶圆盒支撑座
公开号: CN222233584U | 申请号: CN202420909941.6

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420909941.6

申请日期: 2024-04-28

公开号: CN222233584U

名称: 一种晶圆盒支撑座

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: H01L21/67(2006.01);H01L21/673(2006.01)

申请人(专利权人): 无锡亚电智能装备有限公司

发明人/设计人: 童建;霍召军;王建

地址: 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号软件园海豚座B1座1层

摘要: 本申请涉及一种晶圆盒支撑座，属于晶圆生产设备技术领域，在底板上成型安装槽，安装槽的设置方便对顶块进行定位安装，顶块用于直接接触晶圆盒的底部，并将晶圆盒稍微顶起，与晶圆盒直接放置在底板上相比，能够降低与晶圆盒的接触面积，顶板的设置能够将晶圆盒内的晶圆稍微顶起，使晶圆底部脱离与晶圆盒的直接接触，提高干燥效果。

代理人: 陈平

代理机构: 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317