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一种双臂搬运结构
公开号: CN222222657U | 申请号: CN202420601554.6

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420601554.6

申请日期: 2024-03-27

公开号: CN222222657U

名称: 一种双臂搬运结构

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: B25J18/00(2006.01)

申请人(专利权人): 菲科半导体（张家港）有限公司

发明人/设计人: 戴晓松;谭良恒;石成林

地址: 215600 江苏省苏州市张家港市塘桥镇弘吴大道199号29幢

摘要: 本实用新型涉及半导体晶圆加工处理领域，具体为一种双臂搬运结构，包括下臂组件和上臂组件，所述下臂组件通过法兰装配在转塔组件上，上臂组件的输出端连接腕部组件；所述下臂组件中下臂转轴的下端装配在转塔组件中，转塔组件将动力以下臂转轴为轴心传输至下臂组件，并且下臂组件以上臂转轴为轴心将动力输出至上臂组件中的腕部连接座；采用本实用新型，优化整体结构，采用双臂结构，实现在有限的纵向空间内，执行末端的自由控制，双臂结合双轮带传动，将转动角转化后，再次反转，并且运行末端运动过程中，在竖直空间内无干扰；降低整体的空间占用，提高设备内部的使用效率；若结合外部升降组件，可实现高效的多维搬运动作。

代理人: 陈宇航

代理机构: 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219