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一种用于化学气相沉积炉的分散排气装置
公开号: CN222226548U | 申请号: CN202420344692.0

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420344692.0

申请日期: 2024-02-23

公开号: CN222226548U

名称: 一种用于化学气相沉积炉的分散排气装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: C23C16/455(2006.01);C23C16/52(2006.01)

申请人(专利权人): 山东伟基炭科技有限公司

发明人/设计人: 刘岩;耿广仁;赵俊杰

地址: 250102 山东省济南市高新区综合保税区港兴一路2777号

摘要: 本申请提供的一种用于化学气相沉积炉的分散排气装置涉及化学气相沉积炉技术领域。具体包括扣设于化学气相沉积炉底板出气口处的导流盖，所述的导流盖包括呈锥形结构的导流部，所述导流部的上端设置有封闭端部，所述的导流部上设置有散气孔，且所述散气孔的轴线呈倾斜状态。本申请提供的一种用于化学气相沉积炉的分散排气装置可以明显改善马弗筒内的气氛均匀性，从而提高沉积产品表面的涂层均匀性，提高产品质量及使用寿命。

代理人: 韩广超

代理机构: 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105