专利查询系统

承载装置及化学气相沉积设备
公开号: CN222226550U | 申请号: CN202420322729.X

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420322729.X

申请日期: 2024-02-21

公开号: CN222226550U

名称: 承载装置及化学气相沉积设备

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: C23C16/458(2006.01);C23C16/48(2006.01)

申请人(专利权人): 深圳市金洲精工科技股份有限公司

发明人/设计人: 王骏;张贺勇

地址: 518116 广东省深圳市龙岗区中心城龙城北路高科技工业园区

摘要: 本申请涉及化学气相沉积技术领域。本申请实施例提供了承载装置及化学气相沉积设备。通过在承载件的周缘围设反射件，限定出容纳腔，使得承载件承载的待沉积的目标件能够位于容纳腔内。由于反射件能够朝向容纳腔反射热辐射，使得在沉积过程中，产生的用于加热的热辐射能够经由反射件反射到待沉积的目标件上，进而提高了热辐射能量的利用率。同时，反射件也阻碍了容纳腔内的活性反应气体的扩散，进而提高了容纳腔内的活性反应气体的浓度，提升了沉积速率。由此，不仅降低了能耗成本，也提高了生产效率。

代理人: 张黎明

代理机构: 华进联合专利商标代理有限公司 44224