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搬运机构及加工设备
公开号: CN222226551U | 申请号: CN202421012798.7

申请类型: 实用新型

申请号: CN202421012798.7

申请日期: 2024-05-10

公开号: CN222226551U

名称: 搬运机构及加工设备

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: C23C16/458(2006.01);H01L21/677(2006.01);H01L31/18(

申请人(专利权人): 拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司

发明人/设计人: 周欢;于帅帅;董雪迪;李勃

地址: 214000 江苏省无锡市锡山区锡北东青河路3

摘要: 本申请提供一种搬运机构及加工设备，搬运机构用于搬运石英舟，石英舟的相对的两侧分别设置提耳，包括：托举组件，托举组件包括框架和两个托举件，两个托举件均与框架连接，两个托举件用于托举石英舟，两个托举件在第一水平方向上间隔设置，每一个托举件包括托举架和两个托举块，托举架连接于框架，两个托举块在第二水平方向上间隔设置，每一个托举块在竖直方向上与框架间隔设置，每一个托举件中的两个托举块用于承接一个提耳；第一移动组件，第一移动组件与框架连接，第一移动组件用于驱动框架在竖直方向上移动；第二移动组件，第二移动组件与第一移动组件连接，第二移动组件用于驱动第一移动组件在第二水平方向上移动。

代理人: 龚慧惠

代理机构: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334