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一种用于靶材电化学镀银的浸泡装置
公开号: CN222226610U | 申请号: CN202420363200.2

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420363200.2

申请日期: 2024-02-27

公开号: CN222226610U

名称: 一种用于靶材电化学镀银的浸泡装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: C25D17/00(2006.01);C25D7/00(2006.01);C25D21/06(200

申请人(专利权人): 河南东微电子材料有限公司

发明人/设计人: 王永超;赵泽良;冯越;李心然;王福涛;段于奇;王天会;李洋洋;陈渊博;郭薛可

地址: 450000 河南省郑州市航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层

摘要: 本实用新型涉及靶材生产技术领域，特别是一种用于靶材电化学镀银的浸泡装置，包括浸泡箱，所述浸泡箱内部的上方安装有可上下往复运动的置物板，所述置物板顶面的两侧均开设有多个卡口，多个所述卡口两两为一组，形成多组，多组所述卡口的内部均滑动安装有弹板，且二者之间具有滑动阻尼，多个所述弹板的上方均弯曲成弧形，多个所述弹板弧面的外侧均外凸形成有凸台。本实用新型的优点在于：在浸泡箱的内部安装有可上下移动的置物板，置物板顶面的两侧均安装有导向杆，导向杆贯穿浸泡箱上的固定板，导向杆的外部套有弹簧，在弹簧的作用下，置物板能够始终位于浸泡箱的内部，通过两个导向杆可将置物板拉起，以便于在置物板上放置靶材。

代理人: 刘帅杰

代理机构: 河南景润知识产权代理有限公司 41262