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一种手动精密调节镜筒垂直度的装置
公开号: CN222232869U | 申请号: CN202420847923.X

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420847923.X

申请日期: 2024-04-23

公开号: CN222232869U

名称: 一种手动精密调节镜筒垂直度的装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: G03F9/00(2006.01);G03F7/20(2006.01)

申请人(专利权人): 苏州中特微电子科技有限公司

发明人/设计人: 傅舰艇;林世超;邹林

地址: 215200 江苏省苏州市吴江区江陵街道交通路1188号

摘要: 本实用新型属于接近式掩膜光刻设备技术领域，公开了一种手动精密调节镜筒垂直度的装置，包括固定座，固定座一侧的两端对称设有连接块，一对连接块的一侧均安装有固定块，每对连接块和固定块的之间均设有固定槽，两对固定槽的内部均夹持有连接座，一对连接座的一侧均转动连接有X轴，一对连接座的其中一个内部安装有调节机构一，且调节机构一与X轴传动连接，一对X轴的之间固定连接有安装座，安装座的内部转动安装有Y轴，安装座的内部安装有调节机构二，且调节机构二与Y轴传动连接。本装置通过调节机构一和调节机构二的配合使用，能够精密控制镜筒本体纵向和横向角度的调节，消除套刻误差，大大降低了加工精度需求和装调难度。

代理人: 蔡宝

代理机构: 苏州衡创知识产权代理事务所(普通合伙) 32329