专利查询系统

一种晶圆抓取机构
公开号: CN222233618U | 申请号: CN202420957424.6

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420957424.6

申请日期: 2024-05-07

公开号: CN222233618U

名称: 一种晶圆抓取机构

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: H01L21/687(2006.01);H01L21/683(2006.01)

申请人(专利权人): 上海大族富创得科技股份有限公司

发明人/设计人: 苏昌全;李博

地址: 201112 上海市闵行区万芳路555号1幢1层102室、2层202室

摘要: 本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是指一种晶圆抓取机构，包括底座以及顶板，所述顶板采用连接部件铰接于底座，所述底座设置有用于放置物料的支撑区，所述顶板的一端设置有压紧部，所述压紧部位于支撑区的上方，所述顶板的另一端连接有驱动件，所述驱动件带动顶板前后移动靠近或远离底座，以实现对物料平行夹取或松开动作，所述底座远离驱动件的一端对称设有至少两个支撑臂，所述支撑臂上设有吸附区。本实用新型通过驱动件带动顶板前后移动靠近或远离底座，以实现对物料平行夹取或松开动作，能够将压紧部向支撑区移动从而压紧晶圆，防止晶圆受到水平方向的作用力，避免晶圆在左右相对位置偏离，防止取放位置偏离，提高设备精度。

代理人: 蔡冬彦

代理机构: 重庆商贝知识产权代理事务所(普通合伙) 50323