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一种用于真空蒸镀的极座机构
公开号: CN222226523U | 申请号: CN202323631659.0

申请类型: 实用新型

申请号: CN202323631659.0

申请日期: 2023-12-28

公开号: CN222226523U

名称: 一种用于真空蒸镀的极座机构

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: C23C14/26(2006.01);C23C14/56(2006.01)

申请人(专利权人): 深圳市镭煜科技有限公司

发明人/设计人: 臧伟;罗能铁

地址: 518000 广东省深圳市光明区玉塘街道田寮社区兴亿辉工业园3号101

摘要: 本实用新型公开了一种用于真空蒸镀的极座机构，包括蒸发槽、正极座、负极座、蒸发舟和夹紧组件，所述负极座安装于所述蒸发槽内，所述蒸发槽的一侧设置有极座孔，所述正极座贯穿所述极座孔且其两端分别位于所述蒸发槽的内部和外部，所述正极座通过所述夹紧组件活动设置于所述极座孔内，所述正极座和所述负极座间隔设置，且两者相近的一端均设置有放置槽，所述蒸发舟的两端放置在两个所述放置槽内，并通过所述夹紧组件对所述蒸发舟进行夹紧。本实用新型提供的用于真空蒸镀的极座机构，通过夹持的方式夹紧固定蒸发舟，使得蒸发舟易于拆装，便于后期蒸发舟的维修和更换，且对蒸发舟的结构限制小。

代理人: 苏广洁

代理机构: 深圳市远航专利商标事务所(普通合伙) 44276