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一种用于薄膜电阻磁控溅射镀膜的治具
公开号: CN222226528U | 申请号: CN202323524793.0

申请类型: 实用新型

申请号: CN202323524793.0

申请日期: 2023-12-22

公开号: CN222226528U

名称: 一种用于薄膜电阻磁控溅射镀膜的治具

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: C23C14/35(2006.01)

申请人(专利权人): 福建毫米电子有限公司

发明人/设计人: 林来福;严勇;潘甲东;潘云;赵章迅

地址: 362000 福建省泉州市鲤城区常泰街道泰新街58号

摘要: 一种用于薄膜电阻磁控溅射镀膜的治具，包括转动架、圆周分布在转动架外周用于固定镀膜基片的多个夹具和分别连接在多个夹具与转动架之间的多个固定机构，夹具包括夹具本体、沿夹具本体长度方向间隔设置用于安装镀膜基片的多个安装槽和分别设置在夹具本体正反面与安装槽连通的两溅射孔；本申请通过限定治具的结构，由夹具实现多个镀膜基片的装夹，并配合转动架的结构，实现多个夹具的安装固定，以大大提高镀膜基片的装片量，在保证镀膜基片镀膜均匀性的同时，还可以提升靶材的利用率及生产效率，与现有磁控镀膜夹具比较，夹具安装简单，简化了操作，可以长时间重复使用，且无需频繁拆卸，大大降低劳动强度，节约了生产成本。

代理人: 王清燕

代理机构: 泉州君典专利代理事务所(普通合伙) 35239