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一种芯片超纯水终端精处理设备
公开号: CN222233612U | 申请号: CN202323260275.2

申请类型: 实用新型

申请号: CN202323260275.2

申请日期: 2023-12-01

公开号: CN222233612U

名称: 一种芯片超纯水终端精处理设备

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: H01L21/687(2006.01);H01L21/67(2006.01)

申请人(专利权人): 浙江东洋环境科技有限公司

发明人/设计人: 任晓哲;王倩霞;胡昊;沈锦鹏;许旭;杨宁

地址: 313000 浙江省湖州市吴兴区总部自由港B幢6楼606

摘要: 本实用新型涉及芯片加工的技术领域，特别是涉及一种芯片超纯水终端精处理设备，其通过设置此设备，可以对芯片进行夹持固定，提高了其稳定性，从而避免了其高速转动而在机体上甩飞；包括机体、两组螺栓、内环、外环、驱动装置、卡装机构、固定装置和支撑装置，内环和外环的前部和后部均连通设置有螺纹孔，内环和外环分别套在机体外侧，两组螺栓分别与内环和外环的前侧螺纹孔和后侧螺纹孔螺纹连接，驱动装置安装在机体上，驱动装置与内环和外环连接，卡装机构安装在驱动装置上，卡装机构与机体配合连接，固定装置安装在卡装机构上，支撑装置安装在驱动装置上。

代理人: 戴心同

代理机构: 湖州果得知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33365