专利查询系统

一种新型基片传输系统
公开号: CN222226545U | 申请号: CN202421051983.7

申请类型: 实用新型

申请号: CN202421051983.7

申请日期: 2024-05-15

公开号: CN222226545U

名称: 一种新型基片传输系统

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: C23C14/56(2006.01);C23C14/50(2006.01)

申请人(专利权人): 湖州市鹑火光电有限公司

发明人/设计人: 黄跃龙

地址: 313000 浙江省湖州市德清县阜溪街道丰庆街815号综合楼一楼、二楼

摘要: 本实用新型涉及一种新型基片传输系统，一种新型基片传输系统，包括机架，在机架上沿着X轴负方向的一侧设置有进料系统，进料系统通过底部的垫高架安装在机架上，在机架上沿着X轴正方向的一侧设置有出料系统；进料系统包括伺服电机、皮带传动组和进料传动辊，出料系统包括出料组件和顶升支撑组件，顶升支撑组件的数量为两个且位于出料框架下方沿着Y轴方向两侧的机架上。本实用新型通过进料系统和出料系统的配合，可实现基片从X轴方向进料并从Y轴方向上出料的过程，传输方式较为灵活；本实用新型通过进料导向组件对进料的基片进行导向处理，且通过出料限位块对出料的基片进行限位处理。

代理人: 李晓峰

代理机构: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357