专利查询系统

一种多层金属湿法腐蚀的腐蚀液循环机构
公开号: CN222226559U | 申请号: CN202420595631.1

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420595631.1

申请日期: 2024-03-26

公开号: CN222226559U

名称: 一种多层金属湿法腐蚀的腐蚀液循环机构

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: C23F1/08(2006.01);C23F1/46(2006.01);C23G3/00(2006.

申请人(专利权人): 福建安特微电子有限公司

发明人/设计人: 黄赛琴;黄福仁;潘少辉;郑志霞

地址: 351100 福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3555号

摘要: 本实用新型涉及湿法腐蚀技术领域，尤其为一种多层金属湿法腐蚀的腐蚀液循环机构，包括底板，所述底板顶端固定连接有侧板，所述侧板顶端固定连接有顶板，本实用新型中，通过设置的出液管、收集箱、滤网、循环管和外置泵，使金属湿法腐蚀的腐蚀液循环机构的工作效率更高，当湿法腐蚀结束后，腐蚀液通过出液管进入收集箱内侧，随后穿过滤网，滤网将腐蚀液内的残渣过滤掉，防止残渣重新进入湿法腐蚀装置内部，造成产品质量下降，随后启动外置泵，过滤完毕的腐蚀液通过外置泵和循环管重新进入储罐内侧，这种设计不仅使金属湿法腐蚀的腐蚀液循环机构的工作效率更高，还能对腐蚀液进行过滤，保证腐蚀液和产品的质量。

代理人: 赵冬禹

代理机构: 深圳国联专利代理事务所(特殊普通合伙) 44465