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一种用于晶圆片清洗后的干燥装置
公开号: CN222231206U | 申请号: CN202420819083.6

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420819083.6

申请日期: 2024-04-19

公开号: CN222231206U

名称: 一种用于晶圆片清洗后的干燥装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: F26B15/18(2006.01);F26B23/00(2006.01);F26B25/00(20

申请人(专利权人): 无锡颂林达科技有限公司

发明人/设计人: 陆先锋

地址: 214000 江苏省无锡市锡山区鹅湖镇月溪路288号

摘要: 本实用新型公开了晶圆片处理技术领域的一种用于晶圆片清洗后的干燥装置，包括输送带，输送带的下端安装有支撑架，输送带的中部设置有无尘干燥机构，输送带的上方设置有承载机构，输送带的中部固定安装有无尘仓，该用于晶圆片清洗后的干燥装置由输送带、支撑架、无尘干燥机构、承载机构和晶圆片体组成，无尘干燥机构和承载机构接入在晶圆片处理生产线上，无无尘干燥机构与晶圆片处理生产线完全集成，避免了传统方式中需要单独取出晶圆片进行干燥的繁琐操作，这使得晶圆片清洗和干燥过程能够无缝衔接，提高了生产效率，承载机构可以同时在输送带上输送大量的晶圆片，大大提升了晶圆片的处理效率，降低了单个晶圆片的处理成本。

代理人: 张慧芳

代理机构: 北京新中汇知识产权代理事务所(普通合伙) 16069