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一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置
公开号: CN222231940U | 申请号: CN202421134128.2

申请类型: 实用新型

申请号: CN202421134128.2

申请日期: 2024-05-23

公开号: CN222231940U

名称: 一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: G01L21/00(2006.01)

申请人(专利权人): 深圳方寸达科技有限公司

发明人/设计人: 尹勇;章霞;蹇华清

地址: 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝龙社区宝龙一路11号金地威新智造园2号厂房401

摘要: 本实用新型涉及镀膜设备技术领域，一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置。包括壳体、隔板、立柱、加热组件、电子真空计，所述壳体为桶体形状，上面有密封盖，桶体外侧包裹有加热组件，密封盖上面设置有连接管连通真空镀膜腔，桶体内腔设置有隔板。所述隔板为与桶体内径相同的圆盘，设置有多层，每层中间设有中心孔，用立柱穿过中心孔将隔板间隔固定在桶体内腔，立柱固定在桶体底部。所述隔板按45度一个区域，划分为八个区域，其中四个区域内设置有多个通孔，有通孔的区域与无通孔的区域间隔设置。所述桶体内腔的多层隔板，下层隔板上设置有通孔的区域对应上一层隔板无通孔区域。所述电子真空计位于最底层隔板下面。所述桶体内腔工作时加热至50‑120℃。

代理人: 周席良

代理机构: 北京中狮信通专利代理事务所(普通合伙) 16147