专利查询系统

偏振光学显微测量系统
公开号: CN222232330U | 申请号: CN202420655820.3

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420655820.3

申请日期: 2024-04-01

公开号: CN222232330U

名称: 偏振光学显微测量系统

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: G01N21/21(2006.01);G01N21/01(2006.01)

申请人(专利权人): 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

发明人/设计人: 张兴旺;夏梦;陈玉华

地址: 215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号

摘要: 本实用新型公开了一种偏振光学显微测量系统，包括光源、第一偏振组、样品架、物镜、无限远校正管镜、二维可调狭缝、成像透镜组和信号收集器。第一偏振组设于光源的光传播方向上，样品架设于第一偏振组背离光源的一侧，物镜设于样品架背离第一偏振组的一侧，无限远校正管镜设于物镜背离样品架的一侧，二维可调狭缝设于无限远校正管镜背离物镜的一侧，成像透镜组设于二维可调狭缝背离无限远校正管镜的一侧，信号收集器设于成像透镜组背离二维可调狭缝的一侧。本实用新型实施方式中的偏振光学显微测量系统，各个光学元件呈一字形布置形成一字形直列光路，实现了对微纳结构的偏振光谱和偏振成像的光学测试，提高了测试效率和准确度。

代理人: 李年圣

代理机构: 苏州三英知识产权代理有限公司 32412