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一种带插杆的石英花篮
公开号: CN222233588U | 申请号: CN202420898766.5

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420898766.5

申请日期: 2024-04-28

公开号: CN222233588U

名称: 一种带插杆的石英花篮

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: H01L21/673(2006.01);H01L21/67(2006.01)

申请人(专利权人): 杭州致善微电子科技有限公司

发明人/设计人: 张占龙;耿已昌;杨爽

地址: 310000 浙江省杭州市西湖区转塘街道转塘科技经济区块16号6幢509室

摘要: 本实用新型涉及一种带插杆的石英花篮，包括花篮本体和插杆，花篮本体包括底座、两根第一立柱、两根第二立柱、顶部连接件和提手，底座具有第一插孔；底座连接第一立柱和第二立柱的一端；第一立柱和第二立柱的另一端连接顶部连接件，顶部连接件包括第二插孔；顶部连接件上连接提手；第一立柱具有若干第一放置槽，第二立柱具有若干第二放置槽，第一放置槽与第二放置槽成组设置，第一放置槽与第二放置槽的中心连线与底座平面的角度为4‑6°。通过石英花篮的第一放置槽和第二放置槽水平放置晶圆片，从而改善腐蚀晶圆片，片内不均的问题。通过插杆与第一插孔和第二插孔的设置阻挡在晶圆片边缘进一步保证了晶圆片不会滑落。

代理人: 周双

代理机构: 杭州君锐达知识产权代理有限公司 33544