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检测托盘
公开号: CN222233617U | 申请号: CN202420870476.X

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420870476.X

申请日期: 2024-04-25

公开号: CN222233617U

名称: 检测托盘

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: H01L21/687(2006.01);H05F1/00(2006.01);H05F3/02(200

申请人(专利权人): 甬矽半导体（宁波）有限公司

发明人/设计人: 何正鸿;汪明进;魏宇晖;陈泽

地址: 315400 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园滨海大道60号

摘要: 本实用新型提供一种检测托盘，涉及基板检测领域，该检测托盘包括静电板和承载治具，承载治具采用绝缘材料制成，且承载治具的一侧表面设置有用于承载基板的承载台面，静电板采用导电材料制成，并可拆卸地贴附在承载治具远离承载台面的一侧，用于消除承载治具周围的静电。相较于现有技术，本实用新型通过采用绝缘材料承载基板，能够减少静电的产生，而增设静电板，能够消除治具周围的静电，从而避免检查基板时受到静电击穿导致基板上的器件受到影响。

代理人: 张洋

代理机构: 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463