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一种电池片生产用热氧氧化装置
公开号: CN222233656U | 申请号: CN202420520476.7

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420520476.7

申请日期: 2024-03-18

公开号: CN222233656U

名称: 一种电池片生产用热氧氧化装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: H01L31/18(2006.01);H01L21/677(2006.01);C30B33/00(2

申请人(专利权人): 江苏润达新能源科技有限公司

发明人/设计人: 王科;李永仓;沈贞东;王永生;陈凯;吴建

地址: 224700 江苏省盐城市建湖县高新区经四路西路、航空路北侧

摘要: 本实用新型公开了一种电池片生产用热氧氧化装置，涉及电池片生产技术领域，而本实用新型包括箱体，箱体的顶面安装有输送装置，箱体顶面内开设有电解池，电解池的顶面安装有密封盖，通过输送装置完成硅片氧化的输送工作，通过密封盖完成对电解池的密封防护，硅片输送过程，在连接架的配合下，密封盖跟随安装板在电解池顶面左移，使其密封盖打开，硅片氧化完成从电解池内通过输送装置取出时，密封盖跟随安装板的移动进行闭合，完成电解池的密封，解决了由于现有氧化装置用电解池通常都在敞开的环境中进行，在氧化过程中，电解池的氧化溶液容易出现挥发现象，对工作环境造成污染的同时，还影响工作人员的身体健康的问题。

代理人: 衣爱丽

代理机构: 北京新之崛知识产权代理事务所(普通合伙) 16229