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一种反应室升降装置
公开号: CN222225824U | 申请号: CN202421144329.0

申请类型: 实用新型

申请号: CN202421144329.0

申请日期: 2024-05-23

公开号: CN222225824U

名称: 一种反应室升降装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: B66F3/46(2006.01);B66F3/24(2006.01);B66F3/26(2006.

申请人(专利权人): 上海高笙集成电路设备有限公司

发明人/设计人: 崔汉宽;程勇

地址: 200000 上海市浦东新区康桥路957号12幢3层

摘要: 本实用新型涉及一种反应室升降装置，包括：出气端、气缸和固定板，所述出气端与多个固定板固定连接，多个固定板绕出气端做圆周均匀排布，每个固定板与至少一个气缸的活塞杆固定连接，所述气缸的缸体与机架固定连接。本实用新型通过气缸驱动出气端和反应室运动，需要拆卸的部件大大减少，且不需要将进气端和出气端等从设备上拆下，也避免了重新连接管路，解决了现有的反应室拆卸费时费力、有安全风险的问题。

代理人: 朱新艳

代理机构: 青岛鼎丞智佳知识产权代理事务所(普通合伙) 37277