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一种精准调谐的MPCVD装置
公开号: CN222226553U | 申请号: CN202420906035.0

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420906035.0

申请日期: 2024-04-28

公开号: CN222226553U

名称: 一种精准调谐的MPCVD装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: C23C16/511(2006.01);C23C16/27(2006.01);C30B25/00(2

申请人(专利权人): 北方工业大学

发明人/设计人: 安康;许光宇;张永康;张亚琛;刘峰斌;豆照良;李鸿;李利军;吴海平

地址: 100144 北京市石景山区晋元庄路5号北方工业大学

摘要: 本实用新型提供一种精准调谐的MPCVD装置，包括微波传输装置，微波传输装置的底部设置有腔室，腔室的底部开设有排气口，腔室的内部设置有石英罩；微波传输装置中贯穿设置有同轴天线，同轴天线的底部位于腔室中，同轴天线的顶部与顶部传动机构连接；腔室的底部贯穿设置有多个底部天线，底部天线的顶部位于腔室的内壁与石英罩的外壁之间，底部天线的底部与底部传动机构连接。上述方案中，所述MPCVD装置结构简单、设计科学合理、使用方便，通过设置顶部传动机构和底部传动机构，可使同轴天线和底部天线进行精准进给，实现了精准调谐，提高了设备的精密性，因此，能够提高金刚石沉积效率和表面质量。

代理人: 张仲波;汪思雨

代理机构: 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237