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一种真空炉用发热件的固定装置
公开号: CN222226645U | 申请号: CN202421043613.9

申请类型: 实用新型

申请号: CN202421043613.9

申请日期: 2024-05-13

公开号: CN222226645U

名称: 一种真空炉用发热件的固定装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: C30B23/00(2006.01);F27D11/02(2006.01);C30B29/36(20

申请人(专利权人): 中电化合物半导体有限公司

发明人/设计人: 马远;薛卫明;潘尧波

地址: 315336 浙江省宁波市杭州湾新区玉海东路68号15号、16号楼

摘要: 本实用新型提供一种真空炉用发热件的固定装置，至少包括：真空炉，包括炉壁，所述炉壁沿着所述真空炉的重力方向设置；孔洞，设置在所述炉壁上；发热件，设置在所述真空炉内；石墨电极，垂直于所述炉壁设置，且所述石墨电极的一端与所述发热件连接，另一端穿过所述孔洞；铜电极，所述铜电极的一端与所述石墨电极远离所述发热件的一端连接，另一端向远离所述真空炉的一侧延伸；电缆，与所述铜电极远离所述真空炉的一端连接；保温结构，环绕所述石墨电极，设置在所述真空炉内；以及调节结构，环绕所述铜电极，设置在所述真空炉外。本实用新型提供的固定装置，能够释放发热件的热膨胀应力，减轻原料蒸汽在保温结构和石墨电极上沉积的现象。

代理人: 林安安

代理机构: 上海汉之律师事务所 31378