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一种扫描电镜的低温样品台
公开号: CN222233564U | 申请号: CN202420949208.7

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420949208.7

申请日期: 2024-05-06

公开号: CN222233564U

名称: 一种扫描电镜的低温样品台

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: H01J37/20(2006.01);F25D3/10(2006.01);G01N23/2204(2

申请人(专利权人): 南京默思泰智能科技有限公司

发明人/设计人: 王瑞华;王均;庞帅

地址: 210000 江苏省南京市麒麟科技创新园创研路266号人工智能产业园5号楼505室

摘要: 本实用新型公开了一种扫描电镜的低温样品台，包括：控制器，与所述控制器连接的样品台本体，设置在所属样品台本体下的驱动组件，设置在所述样品台本体内的低温控制组件；所述样品台本体包括：台体，圆周阵列设置在所述台体上的若干通孔，设置在所述通孔内的样品舱；样品舱底部设置有支撑板；所述驱动组件包括：设置在所述支撑座下方的电动推杆，以及设置在所述电动推杆底部的支撑座；所述低温控制组件包括：设置在所述样品舱的内的Peltier芯片，设置在所述样品舱外的冷却管道；所述冷却管道两端分别为进液口和出液口。本实用新型利用控制器和低温控制组件的结合，将对Peltier芯片通直流电和液氮输入冷却管道相结合，实现了对样品舱内温度的精准控制。

代理人: 匡立岭

代理机构: 苏州博格华瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 32558