专利查询系统

一种滤波电路、加热电路和半导体处理设备
公开号: CN108075473A | 申请号: CN201610976263.5

申请类型: 发明

申请号: CN201610976263.5

申请日期: 2016-11-07

公开号: CN108075473A

名称: 一种滤波电路、加热电路和半导体处理设备

公开日期: 2018-05-25

当前法律状态: 有效

状态: 有权

主要IPC: H02J3/01;H05B6/02;H05B6/36

申请人(专利权人): 北京北方华创微电子装备有限公司

发明人/设计人: 成晓阳;韦刚;于海涛

地址: 100176 北京经济技术开发区文昌大道8号

摘要: 本发明提供一种滤波电路、加热电路和半导体处理设备。该滤波电路用于连接在加热源和负载之间，对负载进行滤波；包括并联连接的电感支路和电容支路，电感支路包括变压元件和电感元件，电感元件串联连接于变压元件的初级绕组的两端，用于对负载进行滤波；变压元件的次级绕组用于连接负载，变压元件用于将加热源输出的加热电信号传输至负载。该滤波电路通过将电感支路中的电感元件串接于变压元件初级绕组的两端，电感支路的体积大幅减小，从而使电感支路的占用空间相应减小，进而使整个滤波电路的占用空间大幅减小；该滤波电路的电感支路中元器件的设置数量大大减少，从而不仅降低了滤波电路的器件成本，而且减小了滤波电路的整体体积和占用空间。

代理人: 彭瑞欣;罗瑞芝

代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112