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镜片清洗装置
公开号: CN222220504U | 申请号: CN202420572541.0

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420572541.0

申请日期: 2024-03-22

公开号: CN222220504U

名称: 镜片清洗装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: B08B3/04(2006.01);B08B11/02(2006.01);B08B3/02(2006

申请人(专利权人): 吉林麦吉柯半导体有限公司

发明人/设计人: 时新越;路龙;于雄飞;陈礼冲

地址: 132000 吉林省吉林市高新区深圳街99号

摘要: 本申请实施例提供一种镜片清洗装置，涉及半导体制造技术领域。装置包括溶液槽及容置篮，所述溶液槽用于盛装清洗溶液，容置篮用于放置待清洗镜片，可以将装有待清洗镜片后的容置篮放置于溶液槽内浸泡清洗。容置篮包括多个限位凹槽及隔离板，其中，可以通过拆卸安装隔离板调节相邻隔离板之间的间距，相邻隔离板之间的空间用于放置所述待清洗镜片。通过限位凹槽和可拆卸的隔离板的相互配合，可以灵活地调整放置待清洗镜片的空间，可以有效地分隔待清洗镜片，确保每一待清洗镜片都能够充分暴露于清洗溶液中，解决因镜片层叠导致的清洗不净问题，提高清洗效率。此外，利用溶液槽盛装清洗溶液，可以对清洗溶液进行循环利用，减少生产成本。

代理人: 陈仕超

代理机构: 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310