专利查询系统

一种传感器管帽封焊用的抽真空装置
公开号: CN222221522U | 申请号: CN202420057482.3

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420057482.3

申请日期: 2024-01-08

公开号: CN222221522U

名称: 一种传感器管帽封焊用的抽真空装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: B23K37/00(2006.01);B23K31/02(2006.01)

申请人(专利权人): 北科（深圳）机电科技有限公司

发明人/设计人: 刘超;李华春;罗建云

地址: 518000 广东省深圳市龙岗区园山街道大康社区山子下路2号东海科技工业园10厂房301-3

摘要: 本实用新型公开了一种传感器管帽封焊用的抽真空装置，涉及传感器生产设备技术领域，包括封焊主机，封焊主机的侧壁设置有分子泵和真空泵，还包括：抽真空部件，抽真空部件包括上真空腔体和下真空腔体，封焊主机内还设置有用于固定上真空腔体的位移部件和用于固定下真空腔体的固定架，下真空腔体的内部还固定安装有输送管路。该传感器管帽封焊用的抽真空装置，气动推杆能够推动滑杆带动上真空腔体和下真空腔体相互闭合，从而形成密封环境，随后即可启动真空泵将真空腔体抽至普通低真空状态，再由分子泵抽至高真空状态，且在封装过程中还可通过惰性气体补气接头向真空腔体内补充惰性气体，在惰性气体的保护下，可以防止传感器芯片氧化。

代理人: 潘玉珊

代理机构: 深圳蓝鲸鱼专利代理事务所(普通合伙) 44914