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一种分水器、样品台组件及MPCVD装置
公开号: CN222226552U | 申请号: CN202420325189.0

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420325189.0

申请日期: 2024-02-22

公开号: CN222226552U

名称: 一种分水器、样品台组件及MPCVD装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: C23C16/511(2006.01);C23C16/44(2006.01);C23C16/458(

申请人(专利权人): 成都沃特塞恩电子技术有限公司

发明人/设计人: 黄春林;刘文科;胡宗义;李俊宏

地址: 610041 四川省成都市高新区益州大道中段1800号天府软件园G区G3栋3楼301号

摘要: 本实用新型涉及微波等离子体技术领域，具体而言，涉及一种分水器、样品台组件及MPCVD装置，所述分水器包括呈圆盘状结构的分水器本体，所述圆盘状结构的顶部设置有通孔，所述圆盘状结构的底部设置有连接部，所述连接部之间间隔设置并形成通道，提供了一种无需加工散热水道的、结构简单的分水器，所述样品台组件包括所述分水器，所述MPCVD装置包括所述样品台组件。

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