专利查询系统

FIB预处理制样盒
公开号: CN222232146U | 申请号: CN202420655723.4

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420655723.4

申请日期: 2024-04-01

公开号: CN222232146U

名称: FIB预处理制样盒

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: G01N1/28(2006.01)

申请人(专利权人): 胜科纳米（苏州）股份有限公司

发明人/设计人: 施志洋;廖晓强;李晓旻

地址: 215124 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507室

摘要: 本实用新型属于芯片加工技术领域，公开了FIB预处理制样盒，用于放置载有样品的载具，载具呈片状设置，FIB预处理制样盒包括底座，底座上开设有卡槽，载具能够插入卡槽内部，并使载具相对于底座倾斜；以及盖帽，盖帽转动连接于底座，盖帽位于卡槽的一侧，且盖帽的开口位于盖帽靠近卡槽的一侧，盖帽能够转动至不阻碍载具插入卡槽的第一工作位置，以及盖设于载具上的第二工作位置。本实用新型的FIB预处理制样盒，当盖帽处于第一工作位置时，可将载有样品的载具插接在卡槽内部，当盖帽转动至第二工作位置，盖帽盖设于载具上，此时载具受到盖帽的防护，样品的表面不易接触灰尘，减小了对样品的污染，同时也不易被误触，减小了对样品的损伤。

代理人: 吴萌

代理机构: 北京品源专利代理有限公司 11332