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一种芯粒电参数曲线测试台及测试装置
公开号: CN222233570U | 申请号: CN202420035457.5

申请类型: 实用新型

申请号: CN202420035457.5

申请日期: 2024-01-08

公开号: CN222233570U

名称: 一种芯粒电参数曲线测试台及测试装置

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: H01L21/66(2006.01)

申请人(专利权人): 吉林华微电子股份有限公司

发明人/设计人: 王久峰;王斌;姚锐;于浩文;邢文超;孟鹤;常影

地址: 132000 吉林省吉林市高新区深圳街99号

摘要: 本申请公开了一种芯粒电参数曲线测试台及测试装置，涉及芯粒电参数测试技术领域，用于解决现有技术中测试芯粒的电参数曲线的效率比较低的技术问题。所述测试台包括垫板、支撑圈和探针组件，所述垫板用于放置芯粒；所述支撑圈通过支撑架安装在所述垫板的上方；所述探针组件的数量为多个，多个所述探针组件均安装在所述支撑圈上，所述探针组件与芯粒的电极电接触。本申请通过在支撑圈上设置多个探针组件，只需一个人就可以使探针组件与芯粒的多个电极接触，不需要多个人同时操作，从而可以提高对芯粒的电参数曲线的测试效率。

代理人: 陈仕超

代理机构: 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310