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MEMS压电扬声器
公开号: CN115567856A | 申请号: CN202211203529A

申请类型: 发明

申请号: CN202211203529A

申请日期: 2022-09-29

公开号: CN115567856A

名称: MEMS压电扬声器

公开日期: 2023-01-03

当前法律状态: -

状态: -

主要IPC: H04R17/00

申请人(专利权人): 瑞声开泰科技(武汉)有限公司

发明人/设计人: 沈宇;但强;周一苇;李杨

地址: -

摘要: 本发明提供了一种MEMS压电扬声器，其包括：基底，具有空腔；振动结构，包括结构层、压电复合层以及柔性层；结构层包括结构板、结构固定部以及具有狭缝的多个结构弹簧；压电复合层包括压电薄膜以及第一电极层和第二电极层；其中，压电薄膜、第一电极层以及第二电极层分别向基底的正投影中相互重合的区域作为压电驱动功能区，柔性层在振动结构的各层的叠设方向上与结构层间隔设置且其正投影完全覆盖多个结构弹簧的狭缝。本发明通过结构弹簧的弹性作用可以释放压电复合层的应力，同时保证整体结构的刚度且不会使整体结构的刚度过低，从而提升MEMS压电扬声器声压级且减少谐波失真，以提升MEMS压电扬声器的性能。

代理人: -

代理机构: -