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一种MEMS压电扬声器
公开号: CN217985406U | 申请号: CN202221574278U

申请类型: 实用新型

申请号: CN202221574278U

申请日期: 2022-06-21

公开号: CN217985406U

名称: 一种MEMS压电扬声器

公开日期: 2022-12-06

当前法律状态: -

状态: -

主要IPC: H04R19/02;B81B7/02;H04R7/16;H04R17/00

申请人(专利权人): 瑞声开泰科技(武汉)有限公司

发明人/设计人: 沈宇;周一苇;但强;李杨

地址: -

摘要: 本实用新型提供了一种MEMS压电扬声器，包括具有背腔的基底、振膜、电容系统以及柔性膜，振膜包括固定端、悬置端，相邻悬置端之间至少部分间隔设置形成狭缝，悬置端包括支撑段和压电段，电容系统包括与悬置端对应的若干压电结构，每一压电结构包括第一电极层、压电层以及第二电极层，第二电极层沿MEMS压电扬声器的厚度方向的投影仅覆盖振膜的压电段，第一电极层和压电层与第二电极层沿MEMS压电扬声器厚度方向重叠的部分共同形成压电功能区，柔性膜与振膜位于不同的平面，沿MEMS压电扬声器的厚度方向柔性膜与振膜至少部分间隔设置且所述柔性膜与所述基底间隔设置。本设计可以提升MEMS压电扬声器的中高频的声压级，提升MEMS压电扬声器的声学性能。

代理人: -

代理机构: -