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掩膜版输送吊具
公开号: CN222225770U | 申请号: CN202421124941.1

申请类型: 实用新型

申请号: CN202421124941.1

申请日期: 2024-05-22

公开号: CN222225770U

名称: 掩膜版输送吊具

公开日期: 2024-12-24

当前法律状态: 授权

状态: 有权

主要IPC: B66C9/02(2006.01);B66C9/08(2006.01);B66C9/14(2006.

申请人(专利权人): 乐金显示光电科技(中国)有限公司

发明人/设计人: 黄远科

地址: 510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号

摘要: 本实用新型公开一种掩膜版输送吊具,包括吊轨、输送机构、升降机构和掩膜版吊架,吊轨设置在曝光机的上方,吊轨沿掩膜版仓库和曝光机的输送路线延伸;输送机构设置在吊轨上;升降机构与输送机构相连,输送机构用于沿输送路线输送升降机构;掩膜版吊架与升降机构的输出端相连,升降机构用于驱动掩膜版吊架升降,掩膜版吊架包括用于放置盛放掩膜版的载具的搬运部和设置在搬运部上的锁紧组件,锁紧组件用于锁紧固定载具。该掩膜版输送吊具通过吊装的方式输送掩膜版,提高了工厂地面的有效使用面积,以及掩膜版的输送效率。

代理人: 王士强

代理机构: 北京品源专利代理有限公司 11332