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光刻设备和检测器设备
公开号: CN102414622A | 申请号: CN201080018207.1

申请类型: 发明

申请号: CN201080018207.1

申请日期: 2010-03-23

公开号: CN102414622A

名称: 光刻设备和检测器设备

公开日期: 2012-04-11

当前法律状态: 失效

状态: 无权

主要IPC: G03F7/20;G01J1/58

申请人(专利权人): ＡＳＭＬ荷兰有限公司

发明人/设计人: Ｉ·尼古拉伊夫;Ｍ·维伦斯

地址: 荷兰维德霍温

摘要: 检测器包括闪烁材料层、设置在闪烁材料上的间隔材料层以及设置在间隔材料上的光谱纯度滤光片层。检测方法包括步骤：引导ＥＵＶ辐射通过光谱纯度滤光片层、通过设置在光谱纯度滤光片层下面的间隔材料层以及至闪烁材料层上，然后，使用检测由闪烁材料发射的闪烁辐射。

代理人: 吴敬莲

代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司